| Fyrirmynd | E200 | E300 | E400 | E500 |
| / | S300 Z-ás sjálfvirkur | S400 Z-ás sjálfvirkur | S500 Z-ás sjálfvirkur | |
| EP200 3D rannsakandi | EP300 3D rannsaka | EP400 3D rannsaka | EP500 3D rannsaka | |
| Mælisvið (mm) | 200*100*200 | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
| Stærð vélarinnar (mm) | 750*1300*1500 | 750*1300*1500 | 900*1400*1500 | 1100*1125*1650 |
| Þyngd (kg) | 300 | 300 | 400 | 530 |
| Hámarksþyngd (kg) | 20 | 20 | 25 | 30 |
| Nákvæmni XY-ássins | 3+L/200 卩 m | |||
| Nákvæmni Z-ássins | 5+L/200 卩 m | |||
| XYZ upplausn | 13:00 | |||
| Endurtekningarhæfni (mm) | 0,003 | |||
| Línulegur kóðari | línulegur mælikvarði úr gleri | |||
| Tegund myndavélar | SBK-HC536 1/3 tommu 600 línur iðnaðar litmyndavél | |||
| Leiðarvísir fyrir fóðringu | Z-ás: Línuleg leiðarbraut af gerðinni „HIWIN“ í P-gráðu frá Taívan; XY notar línulega leiðarbraut af gerðinni „V“ | |||
| Ljósfræði | 6:5:1 stöðug aðdráttarlinsa | |||
| Stækkun | Ljósfræðilegt aðdráttarhlutfall: 0,7-4,5X; myndaðdráttarhlutfall: 24-158X | |||
| Hugbúnaður | SBK-E handvirk 2.5D mælingarhugbúnaður | |||
| Rannsaka | Renishaw MCP rannsakandi (EP gerð) | |||
| Z-ás mótor | Kína „Tígrisdýr“usamstilltur AC servómótor (S gerð) | |||
| Stjórnkerfi | SBK3000 stjórnbox, USB tengi, stillanleg ljós | |||
| Lýsing á prófíl | LED kalt ljós, 256 stig forritanleg birtustilling | |||
| Yfirborðslýsing | LED köld lýsing með sjálfstæðri stýringu og 256 stiga forritanlegri birtustillingarhjóli | |||
| Valkostur tæki | Renishaw MCP rannsakari, 0,5X, 2X útvíkkandi linsa | |||